先进制程清洗技术及设备专题论坛
先进制程对清洗精度、无损伤、环保性要求持续提升，单片式清洗、绿色清洗成为主流，国产清洗设备在成熟制程稳定供货，先进制程专用清洗设备与制程仍有提升空间。
主要内容：
(1)清洗制程挑战与技术发展方向
(2)单片式/槽式清洗设备技术对比与选型应用
(3)环保型清洗药液与绿色清洗制程创新
(4)大尺寸晶圆、三维结构芯片清洗解决方案
(5)国产清洗设备规模化应用与全流程适配案例
先进制程清洗技术及设备专题论坛
先进制程清洗技术及设备专题论坛
| 会议时间 | 9月1日 星期二 9:30-11:35 |
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| 会议地点 | 无锡太湖国际博览中心B4馆 |
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先进湿法清洗工艺技术挑战及发展方向
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面向光电共封装应用的键合技术及演进趋势
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先进清洗制程的挑战与ESG贡献
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半导体装备零部件精密清洗与微污染控制
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先进制程用高纯PFA的制备与应用
