先进制程清洗技术及设备专题研讨会
先进制程对清洗精度、无损伤、环保性要求持续提升，单片式清洗、绿色清洗成为主流，国产清洗设备在成熟制程稳定供货，先进制程专用清洗设备与制程仍有提升空间。
主要内容：
(1)清洗制程挑战与技术发展方向
(2)单片式/槽式清洗设备技术对比与选型应用
(3)环保型清洗药液与绿色清洗制程创新
(4)大尺寸晶圆、三维结构芯片清洗解决方案
(5)国产清洗设备规模化应用与全流程适配案例
先进制程清洗技术及设备专题研讨会
先进制程清洗技术及设备专题研讨会
| 会议时间 | 13:30-17:30 |
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| 会议地点 | 无锡太湖国际博览中心B4馆 |
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盛美半导体设备（上海）股份有限公司
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盛美FAB
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华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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杨帆半导体科技（苏州）有限公司
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上海博纳微电子设备有限公司
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无锡华瑛微电子技术有限公司
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上海普达特半导体设备有限公司
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