量测技术及设备专题论坛

量测技术及设备专题论坛

随着制程微缩,量测向纳米级、非破坏性、高速在线检测升级,国产量测设备在部分领域实现突破,但高端在线量测、三维量测仍依赖进口。

主要内容:

(1)先进制程量测技术标准与精度需求升级

(2)光学量测、电子束量测、三维量测技术创新

(3)在线量测与制程控制融合,提升制造效率

(4)国产量测设备在晶圆制造与封测环节应用

(5)量测设备 AI 化、智能化发展趋势

量测技术及设备专题论坛
会议时间 9月1日 星期二 13:25-17:00
会议地点 无锡太湖国际博览中心B4馆
  • 欢迎致辞
    黄安君
    华虹半导体(无锡)有限公司副总裁‌,无锡市半导体行业协会秘书长
  • 晶圆与裸片级光学故障定位难点及技术路线图
    潘福杰
    赛美康半导体(无锡)有限公司董事长兼首席执行官
  • 东京精密(Accretech)三维封装工艺及散热技术专项技术更新
    白建星
    东精精密设备(上海)有限公司市场部
    陆振洲
    东精精密设备(上海)有限公司市场部
  • 用于缺陷评价的扫描电镜倾斜观察技术
    袁雍煜
    日立高新技术(上海)国际贸易有限公司高级工程师
  • 从“智能检测”向“智能决策”:AI赋能量检测设备的全新可能
    张雪娜
    深圳市埃芯半导体科技有限公司董事长
  • 化合物半导体全工艺流程的光学量检测方案
    高昆
    中电科风华信息装备股份有限公司研发总监
  • TGV全工艺栈点在线量检测解决方案
    张朝前
    北京电子量检测装备有限责任公司研发总监
  • 量检测技术赋能先进半导体制造
    曾安生
    御微半导体技术有限公司市场总监
  • AI及先进封装浪潮下重塑存储BI测试新范式:挑战、创新与量产突围
    王建伟
    上海启泰沣华半导体科技有限公司研发副总经理
  • 圆桌对话
    季宗亮
    季华资本创始人、启泰沣华创始人
    王 帆
    上海御微半导体技术有限公司总裁
    温任华
    魅杰半导体设备(无锡)有限公司董事长
    张 峰
    江苏芯势科技有限公司董事长
    张雪娜
    深圳市埃芯半导体科技有限公司董事长
    黄崇基
    上海微崇半导体设备有限公司董事长兼总经理
大会特邀嘉宾
温任华
魅杰半导体设备(无锡)有限公司董事长
黄安君
华虹半导体(无锡)有限公司副总裁‌,无锡市半导体行业协会秘书长
潘福杰
赛美康半导体(无锡)有限公司董事长兼首席执行官
袁雍煜
日立高新技术(上海)国际贸易有限公司高级工程师
张雪娜
深圳市埃芯半导体科技有限公司董事长
高昆
中电科风华信息装备股份有限公司研发总监
白建星
东精精密设备(上海)有限公司市场部
陆振洲
东精精密设备(上海)有限公司市场部
张朝前
北京电子量检测装备有限责任公司研发总监
曾安生
御微半导体技术有限公司市场总监
王建伟
上海启泰沣华半导体科技有限公司研发副总经理
季宗亮
季华资本创始人、启泰沣华创始人
王 帆
上海御微半导体技术有限公司总裁
张 峰
江苏芯势科技有限公司董事长
黄崇基
上海微崇半导体设备有限公司董事长兼总经理