量测技术及设备专题研讨会
随着制程微缩，量测向纳米级、非破坏性、高速在线检测升级，国产量测设备在部分领域实现突破，但高端在线量测、三维量测仍依赖进口。
主要内容：
(1)先进制程量测技术标准与精度需求升级
(2)光学量测、电子束量测、三维量测技术创新
(3)在线量测与制程控制融合，提升制造效率
(4)国产量测设备在晶圆制造与封测环节应用
(5)量测设备 AI 化、智能化发展趋势
量测技术及设备专题研讨会
量测技术及设备专题研讨会
| 会议时间 | 13:30-17:00 |
|---|---|
| 会议地点 | 无锡太湖国际博览中心B4馆 |
-
日立高新技术（上海）国际贸易有限公司
-
深圳市埃芯半导体科技有限公司
-
中电科风华信息装备股份有限公司
-
东京精密 Tokyo Seimitsu
-
北京电子量检测装备有限责任公司
-
合肥御微半导体技术有限公司
-
张帆博士/教授 中国电子专用设备工业协会副理事长、日联科技集团股份有限公司研究院院长
-
圆桌对话