刻蚀技术、制程及设备专题研讨会

当前全球刻蚀技术向高选择性、高均匀性、超低损伤、三维立体刻蚀方向升级，国产刻蚀设备在介质刻蚀、硅刻蚀等领域已实现突破，但先进制程程良率、稳定性、核心零部件仍需持续优化。

主要内容：

(1)全球先进刻蚀技术路线与未来 3-5 年演进趋势

(2)7nm/5nm 先进制程刻蚀制程难点与解决方案