半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛

半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛

精密的检测与量测仪器在半导体科研教学与人才培养中有着举足轻重的作用。本论坛聚焦解析尖端精密设备在产学研中的创新应用范式。半导体制造作为先进制造技术,在微观世界中获取准确的数据及形貌特征,不仅对科研生产极为重要,尤其在教学中,更能形象表征半导体的特性,是研究过程中“分析与发现”必不可少的装置。

会议时间

2025年9月4日 13:30-17:00

会议地点

无锡太湖国际博览中心A5馆

会议主题 半导体设备仪器

 

半导体设备仪器赋能科研教学发展论坛
会议时间 2025年9月4日13:30-17:00
会议地点 无锡太湖国际博览中心A5馆
  • 面向集成电路原子级制造的工艺检测与装备控制
    王新河
    北京航空航天大学集成电路学院副院长
  • 强场激光物理与应用探讨
    吉亮亮
    中国科学院上海光学精密机械研究所研究员
  • 低能耗高非线性超分辨显微术
    詹求强
    华南师范大学教授
  • 光刻和量检测装备的动力学与运动控制
    丁晨阳
    博士 复旦大学研究员
  • 超精密运动系统的探索与实践
    刘杨
    哈尔滨工业大学教授
  • 中山大学集成电路学院实践教学体系建设
    徐建明
    中山大学集成电路学院副院长
  • 圆桌对话
    林楠
    北京航空航天大学蓝天杰出教授
    丁晨阳
    博士-复旦大学研究员
    王新河
    北京航空航天大学集成电路科学与工程学院副院长
    李璟
    浙江大学教授
    刘杨
    哈尔滨工业大学教授
    徐建明
    中山大学集成电路学院副院长
大会特邀嘉宾
吉亮亮
中国科学院上海光学精密机械研究所研究员
王新河
北京航空航天大学 集成电路科学与工程学院副院长
詹求强
华南师范大学教授
曹子峥
浙江大学集成电路学院 长聘教授/求是特聘教授
丁晨阳
博士 复旦大学研究员
刘杨
哈尔滨工业大学教授
徐建明
中山大学集成电路学院副院长
林楠
中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术全国重点实验室副主任
李璟
浙江大学 机械工程学院 求是特聘教授